六氯乙硅烷是一种无机化合物，化学式为Si2Cl6，可以看成一种硅的氯化物。它是一种无色液体，在潮湿空气中发烟。它在用作化学试剂和合成硅单质的挥发性前体及芯片行业。
中文名
六氯乙硅烷
熔 点
-1 ℃
外文名
Hexachlorodisilane
沸 点
144 ℃
化学式
Si2Cl6
水溶性
反应
分子量
268.88
密 度
1.562 g/cm³
CAS登录号
13465-77-5
外 观
无色液体
